Si(シリコン)穴加工における超音波スピンドルの効果

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Rs-JAPAN 福岡ファクトリーです。

 

Si(シリコン)ウェハにザグリ加工を実施(超音波あり/なし)し表面に発生するチッピングを比較してみました。

ダイヤモンド電着砥石を使ってφ3ザグリ加工を行っています。

(超音波あり/なし以外の条件はすべて同じです)

 

左の列が超音波あり、右の列が超音波なしになります。

 

画像を大きくして確認していただかないと分かりにくいですが、確かに違いが出ています。

 

小さな事かもしれませんが、この違いが加工後の強度であったり特性であったりに影響してくる場合もあります。

(株)Rs-JAPANはこれからも「小さな事」に拘り続けて行きたいと思います!

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